Fujikin?Carp?Group 通過多年經驗技術的累積，近年成功研發出熱傳感式流量控制器。在擁有原有 的壓力式控制流量器FCS-P系列的基礎上，Fujikin隆重推出了熱式流量控制器FCS-T系列。不論是低端或是 高端的要求，我們都有相對應的產品來滿足客戶的需要。適用于各種半導體裝置、設備用超高純流體及可燃性、毒性流體生產線使用。該閥利用直接式隔膜結構，達到高氣密性、高耐用性、小型性、零死角等要求。 并且在Mega系列膜片閥基礎上實現了小型化。